《表1 不同空气洁净度等级时的TIS Tab.1 TIS for different air cleanliness levels》

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《光学元件表面洁净度对其表面散射特性的影响》

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空气洁净度、工作面的朝向以及曝露时间将直接影响元件的表面洁净度，进而对元件表面的散射特性产生影响。表面粒子分布满足公式（7），因而在表面洁净度给定的情况下可以计算不同粒径的粒子数目。根据公式（4）和（5），可以计算单一粒径的BRDF和TIS，而当表面粒子分布为多粒径时，则可通过叠加得出整个表面的BRDF和TIS。图5（a）～（c）给出了其他条件不变，而空气洁净度、工作面朝向和曝露时间分别变化时的BRDF曲线，表1～3分别列出了相应的TIS值。