《表3 不同曝露时间下的TIS Tab.3 TIS for different exposure time》

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《光学元件表面洁净度对其表面散射特性的影响》

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在上文的分析计算中作如下简化:（1）镜面上所有的污染粒子互不重叠，且粒子之间的间距大于其半径的3倍；（2）所有污染粒子均匀地分布在元件表面；（3）入射光垂直于镜面入射；（4）不考虑相干效应和凝结效应。