《表4 曝露时间的容限Tab.4 Tolerance of exposure time》
参考文献[1]以卡塞格伦望远镜的主镜为例,分析了其主镜的污染容限,该污染容限定义为:污染前后信噪比的相对变化量控制在10%左右,以保证低信噪比时对微弱信号的有效探测。在所给出的污染容限定义下,为了保证系统的探测性能,主镜上污染微粒的表面覆盖率需控制在1%(元件表面洁净度约为630)左右。根据公式(9)可以计算元件在不同空气洁净度下,表面洁净度达到630等级的曝露时间。为了研究空气洁净度对主镜污染容限的影响,表4给出了主镜工作面水平朝上放置时,不同空气洁净度条件下,主镜表面洁净度达到630等级时所需要的曝露时间。
图表编号 | XD0034307800 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.01.25 |
作者 | 黄聪、游兴海、张彬 |
绘制单位 | 四川大学电子信息学院、四川大学电子信息学院、四川大学电子信息学院 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |