《表2 风速实测数据：电子工业洁净室风机过滤器机组关键参数检测方法》

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《电子工业洁净室风机过滤器机组关键参数检测方法》

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注:洁净室级别为ISO-4，测试状态为空态，检测级别为0.1μm；面风速对应合格标准为0.4m/s±20%，均匀性合格标准为≤15%。

根据规范ISO 14644-3—2005《洁净室和相关控制环境.第3部分:试验方法》与JG/T 388—2012《风机过滤器机组》，FFU风速测试合格标准为0.4m/s±20%，均匀性不低于15%。该工程实测风速与均匀性数据如表2所示。