《表4 平移补偿前后不同温度下弥散斑半径均方根》

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《光学元件缺陷在线检测光学系统设计分析》

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表4为当温度不同时系统在不同视场的弥散斑半径均方差值，从图中可以看出，当温度不断增加时，弥散斑半径均方根也在不断增加。平移补偿之后，弥散斑半径均方根的数值也在艾里斑半径之内，于是满足设计要求，并且具有较好的成像质量。