《表3 焦距不同时不同视场下的弥散斑半径均方差》

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《光学元件缺陷在线检测光学系统设计分析》

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对光学系统进行评价时，一般使用的主要方式为调制传递函数的值，能够通过其值放映出系统像素的质量。于是可以得到如图5所示的MTF曲线，分别包含着4种不同焦距的曲线。从图5中可以看出，曲线的特点是平直且光滑，从而能够反映出成像质量比较好。当焦距处于90mm时，此时属于小焦距，其成像性能稍稍有所降低，然而，当其MTF在100lp/mm时，OTF的模数时大于0.3，另外其他的不同焦距下，当MTF为100lp/mm，OTF的模数均是大约0.4，于是能够满足成像像质的需求，表3为当焦距不同时不同视场下弥散斑半径均方根。当处于最小焦距90mm时，其中弥散斑半径均方根处于最大值4.476，而系统艾里斑半径是5.189，该值大于弥散斑半径均方根，于是可以提高衍射能量，并且与其极限相接近。