《表2 No.1～No.7钽基涂层表面2种物相XRD峰的强度比》

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《喷涂工艺对Ta_2O_5原位复合钽基纳米晶涂层微观结构及摩擦磨损性能的影响》

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对于同一组成系列且仅有2种物相的涂层材料，2物相XRD峰强度的相对高低一般由其含量的相对多少决定（XRD测试条件相同）。钽基涂层表面Ta2O5的相对含量可用来表征（分别表示Ta2O5(hkl）晶面和α-Ta （h'k'l'）晶面对应衍射峰的强度；h、k、l和h'、k'、l'代表晶面指数)。图5a为钽基涂层表面的微束XRD谱。将Ta2O52个相对最强的衍射峰与α-Ta的三强峰分别作强度比，得到的6组强度比值随喷涂工艺因素的改变，如表2所示，均体现出大体一致的变化趋势。以对各工艺变量作图，可直观反映涂层表面Ta2O5含量变化（图5b）。