《表3 元素分析线强度的变化（WD:10.5～12.3mm,n=17)》

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《能谱定量分析的不确定度评估》

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aD代表检测器与样品之间的距离

Ti Kα、Ni Kα、Cu Kα各谱线因WD变动引起强度测量的相对标准不确定度urel(I3）分别为0.83%、0.87%、0.88%和0.88%。当EDS探头向外拉出11mm(L0+11）时，分析线强度降低，各元素因WD变动引起强度测量的相对标准不确定度也出现明显增大，分别为1.15%、1.06%、1.63%和1.65%。