《表4 不同迭代抛光阶段面形误差》

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《离子束加工中全频段误差的演变》

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从表1可以看出，空间波段大于100mm的区间，面形误差非常大。因此，首先选用了大口径的离子源进行加工；然后根据加工后的面形测试结果，选用合适的离子源参数进行加工。共经过4轮迭代加工，面形频段误差变化如表4所示。