《表3±2℃温差各工况面形误差参数对比》

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《Wolter-I型聚焦镜热变形数值研究》

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±2℃温差下四种工况镜片组整体面形误差数据如表3．支撑结构的存在，使得镜片组面形误差PV值增加明显，在轴向和径向温度梯度下增加幅度分别为32.25%和123.01%，而面形误差RMS值变化较小，分别为5.14%、4.13%．这一定程度上说明，支撑结构温控效果差时，会使镜片组部分区域热变形加剧，面形误差离散程度加大，但影响区域有限，面形误差整体稳定．