《表4 N2梯度实验的工艺参数》

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《可见光波段Si_xN_y/SiO_2硬质增透膜的研制》

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根据表2和表3的硬度测试结果，用3号设计方案分别制备了N2充气量为125，150，175sccm的三炉多层增透膜，依次标记为5、6、7号样品，三个样品的工艺参数如表4所示。用LRMS-LP1显微分光光度计测试实验样品的单面反射率光谱，结果如图3所示。