《表3 5层梯度减反膜实验工艺参数》

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《减反膜的梯度化与激光损伤阈值之间的关系研究》

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在K9基底上分别沉积5层、6层、7层梯度减反膜和G/H1HL/A薄膜，根据表2的单层膜工艺，以5层梯度减反膜为例，表3给出了制备5层梯度减反膜的工艺参数。6层、7层梯度减反膜和G/H1HL/A薄膜的工艺参数将不在本文中一一列举。