《表2 所需折射率材料的最佳气体配比》

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《减反膜的梯度化与激光损伤阈值之间的关系研究》

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本文选用SiH4、N2O、NH3这3种工作气体，根据不同的气体流量配比实现不同折射率材料的制备。实验中选用的衬底为K9玻璃，经过大量单层膜工艺实验获得了所需7种折射率薄膜材料的最佳气体配比工艺参数，如表2所示。