《表1 原料气体中C2H4∶Si H4及对应产品的折射率和反射率》

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《基于Si-SiC薄膜复合沉积镀膜玻璃生产探讨》


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(2)在生产过程中,通过调整改变原料气体中硅烷和乙烯的配比,从而改变膜层Si/Si C的比例,控制膜层折射率N与反射率R,可以有效减少阳光控制玻璃光反射效应,如表1所示。