《表2 测试材料在1 550 nm波长处的折射率及其热光系数》

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《温度不敏感硅基阵列波导光栅的研究》

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可以得出:当增大狭缝的厚度的时候，可以看到束缚在狭缝中的光能量的比例逐渐增大，并趋于饱和，而改变高折射率材料硅的厚度，对于光场的分布情况几乎没什么影响。在这里采用常规的500 nm宽的波导设计，因此最后影响波导的有效热光系数的是各层的厚度。而对于狭缝波导的研究，在保证slot模式分布大体不变的情况下，即当狭缝的宽度比特征衰减常数还要小（α<<γ0），场被强限制在狭缝中时，上下夹层Si的厚度对束缚在芯层，即低折射率材料中的光能量的比例的影响很小，但是当芯层厚度，即低折射率材料的厚度变化很小时，束缚在其中的能量比例则变化很大。因此主要研究了低折射率材料，即聚合物PSQ-LH的厚度对整个波导的有效热光系数的影响，当h1=100 nm，h2=200 nm，Width=500 nm时，改变狭缝聚合物的厚度hs，观察波导的有效热光系数的变化情况，如图3所示。