《表4 5层梯度膜对应坡度减反膜的实验工艺参数》

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《减反膜的梯度化与激光损伤阈值之间的关系研究》

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通过自动控制气体流量的方法，在K9玻璃上依次完成5层、6层、7层梯度膜对应坡度减反膜的镀制。表4给出了制备5层梯度膜对应坡度减反膜的工艺参数。6层、7层梯度膜对应坡度减反膜的工艺参数将不在本文中一一列举。