《表3 营销理论研究主题：基于Surfscan的椭圆缺陷测量》

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《基于Surfscan的椭圆缺陷测量》

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通过表2中长轴与短轴的尺寸，可以计算出Surfscan测得椭圆缺陷的长短轴比的平均值约为1.3∶1，近似认为椭圆缺陷的长短轴比一致，由两次测量结果中大于某一尺寸的颗粒数量变化及椭圆缺陷的长短轴比，可以计算出样品中某一尺寸区间内椭圆缺陷的数量以及占缺陷总数的比例。以样品A为例，第一次测量中大于2μm缺陷数量为720个，第二次测得尺寸2μm以上缺陷数量为573个，前后两次测量的结果相差147个，已知椭圆缺陷长短轴比约为1.3∶1，近似尺寸在2～3μm的椭圆缺陷数量均匀分布，此即为长轴尺寸在2～2.6μm之间的椭圆缺陷数量，计算可得长轴在2～3μm之间的椭圆缺陷数量约为245个。同理，可计算出三个样品的椭圆缺陷数量、分布以及椭圆缺陷占所有缺陷的比例等，如表3所示。由表3可以看出，样品A受Ga源内温度梯度不合适的影响，缺陷总数较多，并且在2～6μm区间内椭圆缺陷占缺陷的比例较大；表中椭圆缺陷数量存在负值是由于受到不规则缺陷影响所致，不规则缺陷一般尺寸较大，且形状不规则，在不同角度扫描时，尺寸变化无规律，会对结果造成一定的影响。