《表1 不同形式激光雷达性能对比》

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《硅基集成激光雷达技术》


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CMOS:互补金属氧化物半导体MEMS:微机电系统TOF:飞行时间

综上所述,各种形式的激光雷达具有各自的特点,表1对比了上述各种激光雷达的性能差异。下面我们详细介绍全球硅基相控阵激光雷达和硅基光开关阵列激光雷达的研究情况。