《表1 由XPS图谱得出的样品中各元素含量(at.%)》

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《碳氮化法合成氮化钛/碳氮化钛复合粉体的研究》

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图2为不同温度下合成样品的XPS全元素扫描结果。根据图2数据，对Ti、C和N元素进行了定量分析，结果如表1所示。从表1可以看出，N含量随着碳氮化温度的提升有明显地提高，而C含量则逐渐降低。这也印证了XRD谱图中TiN/TiCN衍射峰向高角度偏移。