《表1 由XPS分析出的不同溶液中Ru氧化物的含量》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《活化过硫酸钾氧化法对提高钌CMP去除速率的作用》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

（单位：%）

为了进一步探究S2 O82-的影响机制，将镀Ru膜片分别浸泡在含80 mmol/L K2S2O8和80 mmol/L K2SO4的基础溶液（即5 mmol/L KIO4溶液，不含硅溶胶）中6 min，然后进行XPS分析，结果见图3和表1。Ru的3d5/2和3d3/2结合能一般分别在280.0 e V和284.4 e V[8]。Ru O2中Ru的结合能分别为280.6 e V和285.6 e V，Ru O3中Ru的结合能在282.1 e V[9]。