《表2 氧化铜VMS溶液对不同添加剂的消耗情况》

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《酸性蚀刻废液中回收高纯氧化铜》

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在蚀刻液中回收氧化铜的研究中，按照如下工艺制备氧化铜，即酸性蚀刻液→加碱反应生成CuO→洗涤除杂→干燥→粉碎→煅烧→氧化铜，得到的氧化铜品质见表1。通过这套工艺可以得到质量分数高达99.0%的CuO，且其他杂质含量非常低，溶解速率快，20 s即可完全溶解。表2是400℃煅烧2 h后的氧化铜VMS溶液中光亮剂、抑制剂和整平剂的浓度检测结果。结果显示，随着放置时间的延长，抑制剂和整平剂的浓度不发生变化，而光亮剂的浓度降低了一半。这表明若将此氧化铜用于生产电镀中，随着氧化铜的不断补加，会额外消耗一部分光亮剂，不利于EVF填孔电镀也不经济。