《表4 S2基板腐蚀后溶液ICP结果分析Tab.4 ICP analysis of the dissolution products of S2》

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《LTCC基板材料耐酸蚀性能研究》

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采用ICP分析了各样品在1 mol/L的酸液中浸泡30 h后进入溶液中的元素种类及其含量。S2基板腐蚀后溶液ICP结果如表4所示。由表4可知，S2样品浸泡后进入溶液中的元素主要有Ba、Al、Si、Ca和少量Ti和B。在H2SO4溶液中，几乎没有Ba元素，其他元素的含量百分比则与HCl和HNO3溶液中相差不大。四种基板材料在1 mol/L硝酸溶液中浸泡后的ICP结果如表5所示。