《表5 镀层厚度的ANOVA表》

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《铜镀层工艺参数优化的正交实验研究》

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测量同一直线在相同区域范围内（3.272 mm）五个点的厚度值，求平均，分别得到镀前后的厚度值，计算厚度增量ΔTh，求得膜厚如表2所示。同理根据所测结果进行方差和均方差分析，得出ANO-VA表，并计算各工艺参数的贡献值，如表5所示。从中可以看出，温度对膜厚的影响是主要的。图4为pH和温度对镀层厚度均值（THA）影响的主效应图。