《表5 ITRS洁净室整体与微环境洁净度与化学污染要求》

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《微电子行业洁净室空气化学污染控制》

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为满足高标准技术要求、降低能源消耗及生产成本的需要，通常在大通间的洁净室（Ballroom）通过分隔设计形成局部的微环境，对于微型环境洁净度的要求，可达到更先进的净化标准，即从ISO 2级提升至ISO 1级；另一方面，对整个洁净室的洁净度可被轻松地从目前的ISO 6级到2012年后降到ISO 7级，到2019年后可降至ISO 8级，这几乎已接近一般的居室环境。根据ITRS要求摘录相关标准在表5中。