《表4 ITRS 2001 AMC(pptM)》

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《微电子行业洁净室空气化学污染控制》

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注：pptM单位是物质克分子量的缩写，表示万亿分之一，克分子量是物质6.022×1023个分子的化学质量。

对AMC浓度最普遍采用的参照值见“国际半导体技术指南”，2001(ITRS），见表4。