《表1 ITRS提出的半导体存储器技术路线》
从未来技术发展的角度来看,半导体芯片不仅需要工艺的更进一步缩小和更低的成本,还需要具有更高的性能、安全性、以及可靠性。然而,当半导体产业竞相寻找一个捷径去继续摩尔定律的时候,传统的半导体存储器面临着几个关键的挑战。DRAM,SRAM,闪存(Flash)等几种传统的半导体存储器都是基于电荷来存储信息的。基于电荷存储的存储器所面临的一个很大的挑战就是电荷存储量(单个器件中存储的电子数目)随着工艺尺寸的缩减变的太少,进而引发可靠性操作的问题。表1显示了一些预计半导体存储器技术走向。一般的共识是在未来几年DRAM和闪存随着半导体工艺尺寸的缩小将会变得越来越困难和昂贵,难以继续发展下去。同时DRAM和闪存都有致命的限制其应用的明显缺点:DRAM是易失型存储器,在没有电源的情况下无法存储信息。而闪存则速度很慢,比DRAM慢多个数量级。而对于空间应用来说,这些传统的基于电荷存储的存储器芯片还有一个更致命的缺点,所存储的电荷(代表1或0信息)非常容易受辐照的影响而导致失效。
图表编号 | XD00103418100 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.10.25 |
作者 | 段欣欣、王敏琪、潘乐乐、邱源、程志渊 |
绘制单位 | 上海航天电子技术研究所、上海航天电子技术研究所、上海航天电子技术研究所、上海航天电子技术研究所、浙江大学微电子学院 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |