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《表1 所得高纯硅烷检测结果与标准对比》
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《氟硅酸制备高纯硅副产氟化盐的工艺研究》
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采用本工艺所制备的高纯硅烷的质量指标如表1所示。
图表编号
XD00160663400 严禁用于非法目的
绘制时间
2020.06.15
作者
胡专
绘制单位
多氟多化工股份有限公司
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