《表1 不同基体材料微起爆器件发火电压参数》

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《基于MEMS工艺的微起爆器性能研究》

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基体材料应与微起爆器结构、制作工艺相兼容；幵且需要考虑基底材料的热传导、电阻率物理性能参数，因此选择Pyrex7740玻璃和硅作为微起爆器的基体材料，进行仿真计算和发火性能验证，结果如表1、图2所示。