《表2 不同换能元材料微起爆器件发火电压参数》

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《基于MEMS工艺的微起爆器性能研究》

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微结构换能元材料常选用包括Ni-Cr、Pt、Wu、Cu、Al等金属材料，因此对常用金属换能元材料的发火性能的变化规律进行了仿真计算，同时结合MEMS工艺、微起爆器等兼容性要求，选择Ni-Cr、Pt、Al金属换能元进行发火性能验证，结果如表2、图3所示。