《表1 微组装技术公司的四代换能元发展历程[10]Tab.1 The development of micro assembly technologies micro-initiator》

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《第四代火工品部分概念初步探讨》

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微结构换能元（Micro-initiator/Micro-actuator）是火工品能量转换器件，即将电能转换成热能、光能、飞片动能等引发火工药剂产生燃烧或爆炸的器件。国外将换能元称为Initiator或Actuator。微结构换能元是指采用MEMS工艺制作、特征尺寸在毫米量级的火工品用换能器件，一般具有平面多层结构，易于进行大批量自动化制造。2010年，美国公布了其研制的可替代M100电雷管的MEMS火工品中的微结构换能元，如图2所示。该换能元采用MEMS工艺，将不同结构、形状和材料的桥膜制作在不同的基底上，以达到提高换能效率的目的，至今其发展已经经历了4个阶段[10]。表1给出了微换能元的参数。