《表3 微起爆器件发火性能测试结果》

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《基于MEMS工艺的微起爆器性能研究》

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采用兰利法测试微起爆器的发火性能。理论上，在某一确定的储能电容条件下，能使器件发火的最小初始激励电压为临界发火电压。由于微起爆器制作、装药等工艺偏差，导致了临界发火电压存在一个分布区间，综合微起爆器的产品状态和性能，临界发火电压的中值应该接近或者等于临界发火电压的理论值，所以在实验中认定微起爆器50%的发火电压为其临界发火电压。采用兰利法对微起爆器发火性能进行测试，1#、2#样品装药叠氮化铜（2.0mg，2.32g/cm3)，3#、4#样品装药斯蒂芬酸铅（1.0mg，1.18g/cm3）。发火性能测试结果如表3所示。实验测得1#、2#的临界发火电压均值分别为2.57V、2.33V，高于3#、4#的临界发火电压均值2.05V、2.12V，表明微起爆器的临界发火电压与药剂有兲。