《表1 各类元器件尺寸测量方法[21-23]》

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《现代元器件尺寸测量方法》

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注：1、游标卡尺精度为0.02 mm，千分尺精度为0.01 mm，精密影像测量仪精度为0.001 mm，三维视频测量显微镜精度为0.00001 mm；2、仅列出典型元器件的测量方法。

在早期对于元器件的尺寸测量通常采用游标卡尺、千分尺等接触式测量为主。随着测量技术的发展，目前元器件尺寸测量多以接触式测量与非接触式测量相结合的方式进行，如在对微电子器件进行尺寸测量时，其基本外形尺寸采用游标卡尺测量，而形位公差则采用三维视频测量显微镜进行测量。虽然尺寸测量技术有了高速发展，但目前各类元器件尺寸测试仍然存在较多问题，表1给出了5类典型元器件需要测试的主要外形尺寸参数及示意图，并列举了目前常用的测量方式及测量时需要注意的问题。