《表1 陶瓷吸盘和加热板热变形量》

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《Solidworks Simulation热分析在加热工作台改进设计中的应用》

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分析结果如图8所示，陶瓷吸盘和加热板在A处和B处的热变形量如表1所示，表中的负号表示变形方向相反，从表1中可以看出，陶瓷吸盘的热变形量为0.57 mm，加热板的变形量为1.55 mm。