《表3 吸盘上5个位置的平面度变形量》

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《加热吸附平台表面翘曲问题研究》

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然后新建立一个静态分析算例，将热力分析结果导入到该静态算例中，吸盘、加热板、隔热板、支撑座等相互接触的零件之间添加无穿透类型接触关系，其相互连接的螺钉孔之间添加螺钉连接方式，直线导轨和滑块之间添加滑柱/滑杆约束，其相接触表面也添加无穿透类型接触关系（如图5所示），进行热结构耦合分析，变形量分析结果如图6所示，5个抽选位置的变形量如表3所示。从分析结果可以看出，吸盘表面中部发生翘曲，最大变形量（高度方向）大约为363μm，吸盘平面度降到160μm左右。