《表5 吸盘上5个位置的Z方向变形量》

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《加热吸附平台表面翘曲问题研究》

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为了验证改进后结构的合理性，对该结构进行了热耦合分析，各种热载荷、约束、边界条件的添加可参考上面分析的算例，分析结果如图9、表4和图10、表5所示。从分析结果可以看出，由于吸盘和支撑座受热都能自由收缩，所以Z向变形量都比较均匀，吸盘受热变形后平面高度差最大为12μm左右，没有发生翘曲现象。