《表1 进行测量的四种SiGe HBT》

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《不同尺寸SiGe HBT Gummel图的参数提取》

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出于基区SiGe材料生长质量好坏判断的目的，选择同一硅片上四种不同尺寸的HBT进行测量（直流和交流测量），为两种正常尺寸（TA3，TA4）和两种大尺寸（TE1a和TE1），具体如表1所示。