《表3 X, Z方向分别受力时机械位移台的变形情况》

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《计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动》

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当机械位移台沿一个方向运动对另一方向产生影响时，便会产生运动耦合。运动耦合问题是评测机械位移台运行性能好坏的重要标准。为了评估机械位移台的运动效果，同时检验机械位移台是否能够实现两个自由度的自解耦，对机械位移台分别沿X，Z两个方向施加单向均匀面载荷[14-15]，依据机械位移台驱动器输出动力，设置单向均匀面载荷为10N。位移台X，Z方向的变形如图5所示，受力变形情况见表3。