《表1 机械位移台的材料属性》

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《计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动》

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机械位移台的几何结构相对复杂，为了避免干涉，在建模过程中需保证尺寸准确并简化机械位移台各零件间的配合关系，消除连接件存在的间隙[13]。机械位移台的三维仿真模型如图3所示，材料属性见表1。基于线性理论，装配体位移台的相邻零部件采用绑定接触条件，可满足分析要求。