《表1 原设计热折变和热变形焦面偏移灵敏度》
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根据图14所示，本发明方案应用在此实施例后，温度动引起的波像差恶化程度从0.04wave改善到0.004wave。
| 图表编号 | XD00151129200 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.01.20 |
| 作者 | 郭银章 |
| 绘制单位 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
![表1 煤层气生物成因和热成因形成阶段[17]](http://bookimg.mtoou.info/tubiao/gif/MTKJ202010001_00800.gif)
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