《表3 不同研磨液加工成品率》

《表3 不同研磨液加工成品率》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《研磨液悬浮性对SiC晶片加工质量影响的研究》


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将使用研磨液1和研磨液2得到的研磨片分别记为研磨片1和研磨片2,两种配比研磨液加工的成品率如表3所示。