《表1 悬浮剂配比：研磨液悬浮性对SiC晶片加工质量影响的研究》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《研磨液悬浮性对SiC晶片加工质量影响的研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

首先将搅拌桶内加入一定量纯水；然后加入一定量的悬浮剂，打开搅拌泵搅拌10 min；再加入一定量碳化硼磨料后搅拌10 min待用。配置悬浮剂含量不同的两种研磨液，分别为研磨液1、研磨液2，悬浮剂配比如表1所示。