《表2 通道内壁粗糙度对比》

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《碱腐蚀工艺对微通道板性能的影响研究》

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如图5所示，从两种腐蚀工艺下通道内壁的形貌并没有明显的差异，两种腐蚀工艺的通道内壁粗糙度测量平均值如表2所示。经两种碱蚀时间处理后，通道内壁表面的均方根粗糙度分别达到了0.86 nm（工艺2）和0.8 nm（工艺3）。不同碱蚀时长处理后，两种工艺处理的通道内壁粗糙度相当。因此适当缩短碱腐蚀时间，对通道内壁粗糙度影响不大。