《表1 反应器喷涂前后内壁成分对比》

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《冷喷银涂层在多晶硅生产中的应用研究》

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表1是反应器喷涂前后内壁成分对比表。反应器喷涂前，内壁材质为316L不锈钢，含有Cr、Ni、Fe、C、P等多种元素。在反应器运行过程中，不锈钢与反应气体存在一定的物质交换，一定量的不锈钢组分会进入反应气氛内，并随硅一起沉积在硅棒表面，成为多晶硅产品的体杂质。反应器喷涂后，内壁材质变为纯度高达99.99%以上的银，相比不锈钢材料，银涂层的成分更加单一，不存在多种杂质进入反应气体污染多晶硅的问题，在一定程度上可以提高多晶硅产品的纯度。