《表1 反应等离子喷涂过程工艺参数》

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《反应等离子喷涂TiCN涂层显微结构与性能研究》

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采用江苏泰兴生产的GP–80型等离子喷涂设备进行喷涂，以内送粉方式喷涂，氩气和氮气分别作为主气和反应气，喷涂工艺参数如表1所示。喷涂之前，对基体进行喷砂，清洗和干燥预处理，得到洁净、一定粗糙度的表面。为了提高陶瓷涂层与金属基体间的结合强度和协调两者热膨胀系数的不匹配性，在预处理基体表面预先沉积厚度80～100μm的Ni/Al黏结层，随后在已沉积黏结层表面制备厚度约300μm TiCN涂层。为了对其显微结构的观察和性能测定，需对其进行研磨和抛光处理，步骤如下:（1）采用400目、600目和800目粗砂纸和1000目、1500目和2000目砂纸进行粗磨和精磨，得到相对光滑的表面，研磨过程中注意改变打磨方向，依次90°旋转去除上道次形成的划痕，并逐渐减小力度，避免产生深划痕；（2）对试样进行镜面抛光和超声波清洗，去除研磨过程中产生的微小变形及残留污垢。