《表4 极差分析结果：可延展电子通用金属互连结构电学特性分析》

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《可延展电子通用金属互连结构电学特性分析》

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对导线的指标ACL进行分析，结果如表4所示。表中K1，K2，K3分别代表各个因素在1，2，3三水平下通用互连结构指标均值，而R代表的是不同因素的极差值。从结果可以看出，各个因素的影响主次顺序为R>H>t Cu>T>f>A>Elongation。