《表1 可延展通用互连导线模型尺寸》

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《可延展电子通用金属互连结构电学特性分析》

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仿真研究模型为可延展通用互连结构[10]，如图1所示。平面二维通用互连结构模型有6个结构参数，分别为等效水平线段H、等效圆弧半径R、角度A、等效斜线段T、导线宽度W、等效长度l。互连金属导线嵌入在PI中，具有一定的厚度tCu，其为PI-Cu-PI三层夹心结构，如图2所示[11]，模型尺寸如表1所示。