《表1 电容参考值：一种求取复杂结构金属的互连电容的新算法》

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《一种求取复杂结构金属的互连电容的新算法》

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C1、C2、C3为导体，各个导体对导体C1引发的电容值参见表1，此电容为商业软件QuickCap NX计算出的电容参考值，并行计算下的电容值如表2所示，其中算法的取样点间距为0.001 mm，重复计算次数为1 000次。通过表1和表2对比可知，C1、C2、C3对C1产生的寄生电容误差分别为1.1%、0.6%和0，误差范围都可达业界需求3%以内。