《表2 中芯国际运营的晶圆生产线状况》

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《2019年中国集成电路芯片制造业的状况》


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中芯国际自2000年建立至2018年底,在国内共拥有正在运营的3条12英寸生产线和6条8英寸生产线。其中,12英寸生产线分别是北京的B1和B2A生产线,以及上海的S2A生产线。8英寸生产线分别有上海的S1(Fab1)和S2(Fab2)生产线,以及在天津、深圳和宁波各拥有一条8英寸生产线。此外,中芯国际在上海还拥有1条8英寸晶圆铜互连加工生产线,专用于制作铜互连工艺。这些正在运营的生产线合计产能相当于40万片8英寸晶圆当量,如表2所示。