《表3 中芯国际在建的晶圆生产线状况》

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《2019年中国集成电路芯片制造业的状况》

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自2016年以来，中芯国际在北京、上海和深圳启动了建设新12英寸生产线，其中，2016年9月中芯北方公司开工建设B3生产线，总投资40亿美元，工艺技术为28～14 nm CMOS，产能3.5万片/月。2017年10月中芯国际在上海投资675亿元新建两条12英寸生产线，SN1和SN2。其中SN1主要用于研发14～10 nm CMOS先进工艺，产能为3.5万片/月。SN2主要用于量产28～14～10nm制程芯片，产能目标也为3.5万片/月。2017年11月中芯国际启动了位于深圳的中国华南地区第一条12英寸生产线建设，项目总投资106亿元，技术水平为90～40 nm CMOS，产能为4.0万片/月。2018年5月，中芯国际在绍兴启动8英寸生产线厂房建设，标志着中芯国际微机电系统（MEMS）和新型功率器件产业化项目正式开工建设，项目首期投资58.8亿元。一期专注于微机电系统和新型功率器件领域晶圆和模组代工。二期引入晶圆级封装和模组封装，并建设成为一个综合性的特色工艺基地。中芯国际在建的12英寸和8英寸生产线项目情况一并列于表3。