《表1 宏驱动与宏/微双驱动定位进给系统精度参数对比（单位：微米）》

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《基于神经网络的宏/微双驱动运动平台误差预测及补偿技术研究》

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宏/微双驱动定位进给系统控制软件根据宏平台X、Y轴测量值与实际目标值之间的差值进行宏平台误差的第一次实时补偿后，对比宏驱动定位进给系统X、Y轴精度与宏/微双驱动X、Y轴精度可知，宏/微双驱动定位进给系统的定位精度X轴为0.719μm，Y轴定位精度为0.695μm，如表1所示。微驱动定位进给系统对宏平台定位的第一次补偿对定位精度提高作用明显，尤其是X轴，由宏驱动下的定位精度由2.824μm提高至0.719μm，双向重复定位精度由3.576μm提高至0.771μm，有效的实现了X轴亚微米级的精度补偿；Y轴由宏驱动下的定位精度由0.805μm提高至0.695μm，双向重复定位精度由0.871μm提高至0.738μm，有效的实现了Y轴亚微米级的精度补偿。